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标题
Selective dry etching of UV-nanoimprinted resin passivation masks for area selective atomic layer deposition of aluminum oxide
相关领域
钝化 材料科学 反应离子刻蚀 原子层沉积 二次离子质谱法 蚀刻（微加工） 图层（电子） 硅 干法蚀刻 化学工程 分析化学（期刊） 离子 纳米技术 化学 光电子学 有机化学 工程类
网址
https://doi.org/10.1116/6.0001250
DOI
10.1116/6.0001250 doi
其它 期刊：Journal of vacuum science and technology
作者：Chiaki Miyajima; Shunya Ito; Masaru Nakagawa
出版日期：2021-09-01
求助人
糊涂的白梦 在 2025-10-28 12:26:51 发布自吉林，悬赏 10 积分
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