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 Damage-free sputtering of a transparent conductive oxide using a triode plasma configuration 使用三极管等离子体配置的透明导电氧化物的无损伤溅射
相关领域
三极管
溅射
等离子体
导电体
材料科学
透明导电膜
光电子学
氧化物
纳米技术
光学
复合材料
薄膜
物理
电容器
冶金
电气工程
电压
工程类
量子力学
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期刊：Solar Energy Materials and Solar Cells 作者：Jeong-Ho An; J. Hong; Sung‐In Mo; Yimhyun Jo; Sinho Choi; et al 出版日期：2025-02-03 |
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