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  Systematic investigation of AlGaN channels on AlN/sapphire substrates using metal–organic chemical vapor deposition (MOCVD): Toward higher crystallinity and lower surface roughness 使用金属有机化学蒸气沉积（MEK）对AIN/蓝宝石基片上的LGA沟道进行系统研究：迈向更高的结晶度和更低的表面粗糙度
相关领域
金属有机气相外延
材料科学
化学气相沉积
结晶度
蓝宝石
表面粗糙度
金属
表面光洁度
光电子学
沉积（地质）
化学工程
纳米技术
复合材料
外延
冶金
激光器
光学
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沉积物
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期刊：APL Materials 作者：Hadi Sena; Matti Lawton Siukola Thurston; Chuanzhe Meng; Srabanti Chowdhury 出版日期：2025-05-01 |
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