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标题
High throughput fabrication of surface gratings on VCSEL using displacement Talbot lithography
用位移Talbot光刻技术在VCSEL上高通量制作表面光栅
相关领域
垂直腔面发射激光器 栅栏 材料科学 平版印刷术 制作 光学 光电子学 激光器 反射（计算机编程） 光刻 衍射光栅 物理 计算机科学 医学 替代医学 病理 程序设计语言
网址
https://doi.org/10.1117/12.2643100
DOI
10.1117/12.2643100 doi
其它 期刊：
作者：Zhu Shi; Baogang QUAN; Fangrong Hu
出版日期：2023-01-23
求助人
xiaoyaoswim 在 2025-07-26 14:30:31 发布自四川，悬赏 20 积分
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