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[高分]
 High throughput fabrication of surface gratings on VCSEL using displacement Talbot lithography 用位移Talbot光刻技术在VCSEL上高通量制作表面光栅
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期刊： 作者：Zhu Shi; Baogang QUAN; Fangrong Hu 出版日期：2023-01-23 |
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