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Zirconium-oxo clusters for high-resolution lithography: Influence of the organic-ligand coordination mode 用于高分辨率光刻的锆氧团簇:有机-配体配位模式的影响
相关领域
锆
配体(生物化学)
平版印刷术
材料科学
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生物化学
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期刊:CCS Chemistry 作者:Min Zhang; Daohan Wang; Zijian Chen; Xiao‐Feng Gong; Jun Zhao; et al 出版日期:2025-04-11 |
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