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标题
Evolution mechanism of scratch removal on fused silica during chemical mechanical polishing
熔融石英化学机械抛光过程中划痕去除的演化机理
网址
https://doi.org/10.1016/j.jmrt.2025.07.147
DOI
10.1016/j.jmrt.2025.07.147 doi
其它 期刊：Journal of Materials Research and Technology
作者：Yongjie Li; Longxiang Li; Hongda Wei; Xingchang Li; Shi Pan; et al
出版日期：2025
求助人
超级无敌奥特大王 在 2025-09-10 18:51:32 发布自吉林，悬赏 30 积分
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