Evolution mechanism of scratch removal on fused silica during chemical mechanical polishing

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标题	Evolution mechanism of scratch removal on fused silica during chemical mechanical polishing 熔融石英化学机械抛光过程中划痕去除的演化机理
网址	https://doi.org/10.1016/j.jmrt.2025.07.147
DOI	10.1016/j.jmrt.2025.07.147 doi
其它	期刊：Journal of Materials Research and Technology 作者：Yongjie Li; Longxiang Li; Hongda Wei; Xingchang Li; Shi Pan; et al 出版日期：2025
求助人	超级无敌奥特大王在 2025-09-10 18:51:32 发布自吉林，悬赏 30 积分
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