| 标题 |
Control polarity of gallium nitride on Si (1 1 1) using atomic layer annealing and thermal atomic layer deposition 相关领域
原子层沉积
原子层外延
材料科学
氮化镓
图层(电子)
退火(玻璃)
镓
热的
极性(国际关系)
纳米技术
化学
冶金
物理
热力学
生物化学
细胞
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊:Applied Surface Science 作者:SeongUk Yun; Ping‐Che Lee; Jeffrey Spiegelman; Andrew C. Kummel 出版日期:2024-08-22 |
| 求助人 | |
| 下载 | 求助已完成,仅限求助人下载。 |
|
温馨提示:该文献已被科研通 学术中心 收录,前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库,收集文献的基本信息(如标题、摘要、期刊、作者、被引量等),不提供下载功能。如需下载文献全文,请通过文献求助获取。
|
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)