A multimodal hierarchical learning approach for virtual metrology in semiconductor manufacturing

求助中

文献求助详情

标题	A multimodal hierarchical learning approach for virtual metrology in semiconductor manufacturing 半导体制造虚拟计量的多模态分层学习方法相关领域半导体器件制造计量学制造工程计算机科学工程类工业工程系统工程人工智能数学电气工程统计薄脆饼
网址	https://doi.org/10.1016/j.jmsy.2025.02.010
DOI	10.1016/j.jmsy.2025.02.010 doi
其它	期刊：Journal of Manufacturing Systems 作者：Qunlong Chen; Hong‐Wei Xu; Hong‐Wei Xu 出版日期：2025-03-11
求助人	ymr 在 2025-12-12 00:38:27 发布自上海，悬赏 10 积分
下载	暂无链接，等待应助者上传
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

International Society for Optics and Photonics (SPIE)

上个求助

下个求助

提交工单

求助 / 应助时间线

现在，等待您上传文献

对不起，您需要登录才可以上传文件。
进入登录页面
5小时前

科研通AI2.0 机器人未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

00:38:31 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

00:38:27 科研通AI机器人（美国洛杉矶）收到请求，开始寻找文献

00:38:27 已向机器人发送请求
5小时前

ymr Lv640 求助人发起了本次求助

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2025年影响因子查询已上线 (2025-6-18)

更新

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 美丽妙海发布了新的文献求助30

4秒前; 量子星尘发布了新的文献求助10

11秒前; 慕青上传了应助文件

27秒前; 找文献的天才狗发布了新的文献求助10

33秒前; fanssw完成签到，获得积分0

41秒前; 找文献的天才狗完成签到，获得积分10

43秒前; 优雅的平安完成签到，获得积分10

53秒前; 芬芬完成签到，获得积分10

1分钟前; 入袍完成签到，获得积分10

1分钟前; 施光玲44931完成签到，获得积分10

1分钟前; 浪漫反派发布了新的文献求助10

1分钟前; Andy完成签到，获得积分10

1分钟前; Lilian完成签到，获得积分10

1分钟前; 研友_LN25rL完成签到，获得积分10

1分钟前; 李健的粉丝团团长上传了应助文件

1分钟前; 矮小的猕猴桃发布了新的文献求助10

1分钟前; 自然的含蕾完成签到，获得积分0

1分钟前; 科研通AI2S上传了应助文件

2分钟前; 烟花的应助被袁青寒采纳，获得10

2分钟前; 望向天空的鱼完成签到，获得积分10

2分钟前; 游泳池完成签到，获得积分10

2分钟前; qianzhihe2完成签到，获得积分10

2分钟前; Jasper的应助被袁青寒采纳，获得10

3分钟前; magictoo完成签到，获得积分10

3分钟前; 科研通AI2S上传了应助文件

3分钟前; nano完成签到，获得积分10

3分钟前; 雪山飞龙完成签到，获得积分10

3分钟前; wood完成签到，获得积分10

3分钟前; 科研通AI2S的应助被科研通管家采纳，获得10

3分钟前; 胡国伦完成签到，获得积分10

4分钟前; Matberry完成签到，获得积分10

4分钟前; 成就以山完成签到，获得积分10

4分钟前; 番茄酱完成签到，获得积分10

4分钟前; LL完成签到，获得积分10

4分钟前; ywzwszl完成签到，获得积分0

5分钟前; 1323834289完成签到，获得积分10

5分钟前; 刘辰完成签到，获得积分10

5分钟前; XX2完成签到，获得积分10

5分钟前; PHD满发布了新的文献求助30

5分钟前; Gary完成签到，获得积分10

5分钟前