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 Design and simulation of high sensitive capacitive pressure sensor with slotted diaphragm 开槽膜片高灵敏度电容式压力传感器的设计与仿真
相关领域
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期刊： 作者：M. Shahiri-Tabarestani; Bahram Azizollah Ganji; Reza Sabbaghi‐Nadooshan 出版日期：2012-02-01 |
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