| 标题 |
 Siconi Process Applications Study for 28nm Technology Node and Beyond 28纳米技术节点及以上的Siconi工艺应用研究
相关领域
节点（物理）
过程（计算）
计算机科学
工程类
程序设计语言
结构工程
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| 其它 |
期刊：ECS transactions 作者：Hao Tong; Bin Zhang; Hao Deng; Yan Yan; Shi Bi Guo; et al 出版日期：2014-02-27 |
| 求助人 | |
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