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Low volume shrinkage, alkaline degradable UV nanoimprint lithography resists based on acrylic anhydride
基于丙烯酸酐的低体积收缩、碱性可降解UV纳米压印光刻抗蚀剂
网址
https://pubs.rsc.org/en/content/articlelanding/2025/nr/d4nr0...
DOI
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bailing128 在 2025-08-20 11:05:01 发布自广东，悬赏 10 积分
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