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 Additive full-wafer fabrication of all-inorganic metalenses, waveguides, and diffractive optics for visible and IR applications via direct nanoimprint lithography 通过直接纳米压印光刻用于可见光和红外应用的全无机金属透镜、波导和衍射光学器件的增材全晶片制造
相关领域
纳米压印光刻
制作
薄脆饼
材料科学
光电子学
平版印刷术
光学
纳米光刻
光学材料
光刻
物理
医学
病理
替代医学
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期刊： 作者：Dae Eon Jung; Vincent J. Einck; Babak Mirzapourbeinekalaye; Alex Dawicki; Lucas D. Verrastro; et al 出版日期：2025-01-23 |
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