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 Control of preferential orientation of AlN films prepared by the reactive sputtering method 反应溅镀法制备的AIN薄膜优先取向的控制
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期刊：Thin Solid Films 作者：Masatou Ishihara; S.J Li; Hisami Yumoto; Kazuo Akashi; Yukio Ide 出版日期：1998-03-01 |
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