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标题
Modeling and Simulation of Charging Effects in Low-Energy Electron-Beam Lithography
相关领域
电子束光刻 电子 平版印刷术 阴极射线 材料科学 低能 光电子学 物理 原子物理学 纳米技术 抵抗 核物理学 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.3938/jkps.40.720
DOI
10.3938/jkps.40.720 doi
其它 期刊：Journal of the Korean Physical Society
作者：Yongjae Lee; Lee Woojin; Chun Kukjin
出版日期：2002-04-01
求助人
yuan 在 2025-10-27 10:22:43 发布自甘肃，悬赏 10 积分
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