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标题
Distribution of ion energy and concentration in the expansion region of radio-frequency inductive coupled plasmas with deuterium and deuterium-nitrogen mixtures
网址
https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0042207X2...
DOI
10.1016/j.vacuum.2026.115125 doi
其它 期刊：Vacuum
作者：Xiao-Wei Xi; Xuxu Liu; Wei Jin; Jipeng Zhu; Hai Jin; et al
出版日期：2026-04-01
求助人
樱木灰 在 2026-09-16 19:18:53 发布自北京，悬赏 10 积分
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  • 1天前

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  • 1天前

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