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BEOL Interconnect Innovation: Materials, Process and Systems Co-optimization for 3nm Node and Beyond
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DOI
10.23919/vlsitechnologyandcir57934.2023.10185299 doi
其它 期刊:
作者:Gaurav Thareja; Ashish Pal; Xingye Wang; S. Dağ; Shi You; et al
出版日期:2023-06-11
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