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 Crystal Orientation of Epitaxial α-Ta(110) Thin Films Grown on Si(100) and Si(111) Substrates by Sputtering 相关领域
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期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：M. Kudo; S. Shinkai; H. Yanagisawa; K. Sasaki; Y. Abe 出版日期：2008-07-11 |
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