MD simulations of GaN sputtering by Ar+ ions: Ion-induced damage and near-surface modification under continuous bombardment

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标题	MD simulations of GaN sputtering by Ar+ ions: Ion-induced damage and near-surface modification under continuous bombardment
网址	http://dx.doi.org/10.1116/1.3460904
DOI	10.1116/1.3460904 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films 作者：Emilie Despiau-Pujo; Pascal Chabert 出版日期：2010-09-01
求助人	染指在 2026-08-04 19:27:35 发布自浙江，悬赏 10 积分
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