Epitaxial Deposition of β-Ga2O3 Films by Radio-Frequency Magnetron Sputtering at Elevated Substrate Temperatures - 科研通

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标题	Epitaxial Deposition of β-Ga2O3 Films by Radio-Frequency Magnetron Sputtering at Elevated Substrate Temperatures 相关领域材料科学外延镶嵌蓝宝石溅射沉积基质（水族馆）光电子学拉曼光谱腔磁控管薄膜图层（电子）表面粗糙度沉积（地质）溅射分析化学（期刊）成核紫外线复合材料表面光洁度带隙
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.vacuum.2025.114840
DOI	10.1016/j.vacuum.2025.114840 doi
求助人	落去归来在 2026-04-27 22:26:27 发布自湖北，悬赏 10 积分
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