| 标题 |
 Stress relaxation of three dimensional textured AlN films on sapphire substrate by rapid thermal annealing |
| 网址 | |
| DOI |
10.1016/j.diamond.2021.108532
doi
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| 其它 |
期刊：Diamond and Related Materials 作者：Yanpu Chen; Zishu Zhu; Haolei Zhou; Pingping Ma; Liren Lou; et al 出版日期：2021-07-20 |
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