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 Al Implantation and Post Annealing Effects in n-Type 4H-SiC |
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期刊：Journal of Nanoelectronics and Optoelectronics 作者：Woo-Young Son; Myeong-Cheol Shin; Michael Schweitz; Sang-Kwon Lee; Sang-Mo Koo 出版日期：2020 |
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