Understanding Thickness Uniformity of Ga2O3 Thin Films Grown by Mist Chemical Vapor Deposition - 科研通

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标题	Understanding Thickness Uniformity of Ga2O3 Thin Films Grown by Mist Chemical Vapor Deposition
网址	https://doi.org/10.1149/2.0381907jss
DOI	10.1149/2.0381907jss doi
其它	期刊：ECS Journal of Solid State Science and Technology 作者：Minh-Tan Ha; Kyoung-Ho Kim; Yong-Jin Kwon; Cheol-Jin Kim; Seong-Min Jeong; Si-Young Bae 出版日期：2019
求助人	zht 在 2026-05-27 20:50:16 发布自美国，悬赏 10 积分
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