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Applications of atomic layer deposition to nanofabrication and emerging nanodevices
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DOI
10.1016/j.tsf.2008.09.007 doi
其它 期刊:Thin Solid Films
作者:Hyungjun Kim; Han-Bo-Ram Lee; W.-J. Maeng
出版日期:2008-09-14
求助人
庞贝 在 2026-03-18 14:12:52 发布自广东,悬赏 10 积分
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