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 Finite Element Method Analyzes the Residual Stress of HfO2/SiO2 Multi-Layer on Flexible Substrate Evaporated with Ion-beam Assisted Deposition 离子束辅助沉积柔性基体上HfO2/SiO2多层膜残余应力的有限元分析
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期刊：Optical Interference Coatings Conference (OIC) 2022 作者：Hsi-Chao Chen; Xin-Ya Zheng; Shengbin Chen; Ming‐Ying Wu; Szu-Hui Lee 出版日期：2022-01-01 |
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