Effect of substrate temperature on growth mechanism and properties of PEALD-MgO dielectric films for amorphous-IGZO TFTs

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标题	Effect of substrate temperature on growth mechanism and properties of PEALD-MgO dielectric films for amorphous-IGZO TFTs
网址	https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2024.130819
DOI	10.1016/j.surfcoat.2024.130819 doi
其它	期刊：Surface & Coatings Technology 作者：Zhan-Bo Su; Xiaoying Zhang; Xiao Lin; Xiaolong Li; Cheng-Xiang Quan; et al 出版日期：2024-04-21
求助人	xyc 在 2026-10-09 11:31:15 发布自陕西，悬赏 10 积分
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