EUV lithography industrialization progress

待确认

文献求助详情

标题	EUV lithography industrialization progress
网址	https://doi.org/10.1117/12.2281184
DOI	10.1117/12.2281184 doi
其它	期刊：International Conference on Extreme Ultraviolet Lithography 2017 作者：Roderik van Es; Mark van de Kerkhof; Leon Levasier; Rudy Peeters; Hans Jasper 出版日期：2017-10-16
求助人	消了在 2026-11-03 17:47:14 发布自北京，悬赏 20 积分
下载

上个求助

下个求助

提交工单

求助 / 应助时间线

请等待求助人确认

已经有人上传了文献，该状态下其他人无法上传，请等待求助人确认该文件是否是他需要的。
如果求助人在 48 小时内还未确认，系统默认应助成功，本求助将自动关闭。
10小时前

图图耳朵 Lv4 上传了文件

待审核 1045003.pdf (1.41 MB)

温馨提示：本文件中的下载单位、IP等隐私信息已被删除。如有遗漏，请提交工单反馈。
10小时前

科研通AI2.0 机器人未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

17:47:18 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

17:47:14 科研通AI机器人（中国香港）收到请求，开始寻找文献

17:47:14 已向机器人发送请求
10小时前

消了 Lv3 求助人发起了本次求助

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 英俊的鞅完成签到，获得积分10

8秒前; 陶醉成协完成签到，获得积分10

33秒前; 林子鸿完成签到，获得积分10

1分钟前; 健康的忘幽完成签到，获得积分10

1分钟前; jxjsyf完成签到，获得积分10

1分钟前; TXZ06完成签到，获得积分10

1分钟前; 仁爱采蓝完成签到，获得积分10

1分钟前; 威武的碧玉完成签到，获得积分10

1分钟前; shell完成签到，获得积分10

2分钟前; 呆萌的豁完成签到，获得积分10

2分钟前; 科研通AI6.4上传了应助文件

2分钟前; TC完成签到，获得积分10

2分钟前; zty发布了新的文献求助10

2分钟前; 英俊的傲珊完成签到，获得积分10

2分钟前; 过时的行云完成签到，获得积分10

2分钟前; Moto_Fang完成签到，获得积分10

2分钟前; 酷波er的应助被科研通管家采纳，获得10

3分钟前; laq00519的应助被科研通管家采纳，获得10

3分钟前; 笑点低的如萱完成签到，获得积分10

3分钟前; 无极微光的应助被海不会不蓝采纳，获得20

3分钟前; SciGPT的应助被伊力扎提采纳，获得10

3分钟前; SciGPT上传了应助文件

3分钟前; 乐观寻芹完成签到，获得积分10

3分钟前; 伊力扎提发布了新的文献求助10

3分钟前; 大气的夜雪完成签到，获得积分10

3分钟前; 华仔上传了应助文件

3分钟前; AQ发布了新的文献求助30

4分钟前; 漂亮穆完成签到，获得积分10

4分钟前; null的应助被更深的蓝采纳，获得10

4分钟前; 高高的飞机完成签到，获得积分10

4分钟前; 高贵的晓啸完成签到，获得积分10

4分钟前; 科研通AI6.2上传了应助文件

4分钟前; 迅速大地完成签到，获得积分10

4分钟前; Willa发布了新的文献求助20

4分钟前; 华仔的应助被AQ采纳，获得10

5分钟前; Qiancheni完成签到，获得积分10

5分钟前; 002399fb52341f78发布了新的文献求助10

5分钟前; 跳跃的冰安完成签到，获得积分10

5分钟前; 甜蜜赛君完成签到，获得积分10

5分钟前; 雪雪的大爷驳回了斯文败类的应助

6分钟前