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标题
Etching behavior of Y2O3 coatings in a capacitively coupled NF3/Ar/O2 plasma: Effects of bias power and pressure
网址
https://pubs.aip.org/avs/jva/article-pdf/doi/10.1116/6.00055...
DOI
10.1116/6.0005593 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A
作者：Yuning Wang; Liyue Gong; Ziyan Tan; Yongxin Liu; Fei Gao; et al
出版日期：2026-08-18
求助人
帅气夜云 在 2026-10-08 10:23:50 发布自上海，悬赏 10 积分
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  • 14天前

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