Effect of Oxidizers on Chemical Mechanical Planarization of Ruthenium with Colloidal Silica Based Slurry

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标题	Effect of Oxidizers on Chemical Mechanical Planarization of Ruthenium with Colloidal Silica Based Slurry
网址	https://syndication.highwire.org/content/doi/10.1149/2.03030...
DOI	10.1149/2.030301jss doi
其它	期刊：ECS Journal of Solid State Science and Technology 作者：Hao Cui; Jin-Hyung Park; Jea-Gun Park 出版日期：2012-11-29
求助人	小小仙桃子在 2026-07-03 15:45:00 发布自中国，悬赏 10 积分
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