Wet etching of Ge2Sb2Te5 films and switching properties of resultant phase change memory cells

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标题	Wet etching of Ge2Sb2Te5 films and switching properties of resultant phase change memory cells
网址	https://validate.perfdrive.com/fb803c746e9148689b3984a31fccd...
DOI	10.1088/0268-1242/20/11/002 doi
其它	期刊：Semiconductor Science and Technology 作者：Huai-Yu Cheng; Chao-An Jong; R. Chung; T. Chin; Rong-Tan Huang 出版日期：2005-11-01
求助人	zly 在 2026-09-20 21:35:41 发布自江苏，悬赏 10 积分
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