Area-selective atomic layer deposition of ruthenium using O2 plasma-enhanced self-assembled monolayers

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标题	Area-selective atomic layer deposition of ruthenium using O2 plasma-enhanced self-assembled monolayers
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S016943322...
DOI	10.1016/j.apsusc.2026.167696 doi
其它	期刊：Applications of Surface Science 作者：Youngseo Na; Yehbeen Im; Hyunjin Lim; Donguk Kim; Kangbaek Seo; et al 出版日期：2026-06-01
求助人	ADChem_JH 在 2026-09-11 23:18:02 发布自上海，悬赏 10 积分
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