Target and substrate surface reaction kinetics in magnetron sputtering of nitride coatings

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标题	Target and substrate surface reaction kinetics in magnetron sputtering of nitride coatings
网址	https://doi.org/10.1016/0040-6090(90)90384-p
DOI	10.1016/0040-6090(90)90384-p doi
其它	期刊：Thin Solid Films 作者：Siegfried Hofmann 出版日期：1990
求助人	高梦祥在 2026-06-18 23:59:43 发布自安徽，悬赏 10 积分
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