Atomic layer deposition of TiO 2 /TiN/Ru/Cu multi-layer on the glass surface for glass–metal adhesion enhancement

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标题	Atomic layer deposition of TiO 2 /TiN/Ru/Cu multi-layer on the glass surface for glass–metal adhesion enhancement
网址	https://doi.org/10.1016/j.mssp.2025.110283
DOI	10.1016/j.mssp.2025.110283 doi
其它	期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Hongfei Chen; Tailong Shi; Y. R. Ge; Yexi Yin; Shuaiqiang Ming; et al 出版日期：2025-11-24
求助人	xpxpxpx 在 2026-09-17 12:02:47 发布自北京，悬赏 10 积分
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