E-beam Lithography Technology for Quantum Device Fabrication and Nanoscale Patterning

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标题	E-beam Lithography Technology for Quantum Device Fabrication and Nanoscale Patterning
网址	https://doi.org/10.3938/phit.33.024
DOI	10.3938/phit.33.024 doi
其它	期刊：Physics and High Technology 作者：Seok-kyu KIM; Kang min YOO; Hyeon seok JEONG; Moon gyu JANG 出版日期：2024
求助人	柏不斜在 2026-05-31 23:17:41 发布自北京，悬赏 10 积分
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