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 Evaluations of the microstructures at the interface between the semipolar (1013) AlN epilayer and the m-plane (1010) sapphire substrate 半极性（1013）AlN外延层与m面（1010）蓝宝石衬底界面处微结构的评价
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期刊：CrystEngComm 作者：Xu‐Qiang Shen; Hirofumi Matsuhata; Kazutoshi Kojima 出版日期：2023-01-01 |
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