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Thermodynamics of Ion-Cutting of β-Ga2O3 and Wafer-Scale Heterogeneous Integration of a β-Ga2O3 Thin Film onto a Highly Thermal Conductive SiC Substrate β-Ga2O3离子切割热力学及β-Ga2O3薄膜在高导热SiC衬底上的晶片级异质集成
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期刊:ACS applied electronic materials 作者:Wenhui Xu; Tiangui You; Fengwen Mu; Shen Zhenghao; Lin Jiajie; et al 出版日期:2021-12-28 |
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