SRIM analysis of ion implantation in silicon beyond 10 keV

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标题	SRIM analysis of ion implantation in silicon beyond 10 keV
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.mssp.2020.105234
DOI	10.1016/j.mssp.2020.105234 doi
求助人	无fh45 在 2025-11-23 14:16:00 发布自青海，悬赏 10 积分
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