浸没光刻机照明系统照明光场产生技术研究

已关闭

文献求助详情

标题	[高分] 学位论文浸没光刻机照明系统照明光场产生技术研究
网址	求助人暂未提供
DOI	暂未提供，该求助的时间将会延长，查看原因？
其它	马晓喆，中国科学院上海光学精密机械研究所
求助人	ghpi 在 2026-01-06 15:47:32 发布自四川，悬赏 50 积分
下载

上个求助

提交工单

求助 / 应助时间线

8个月前，求助关闭

null Lv12 关闭了本次求助。

说明求助违规（查看求助规则）：信息缺少或不规范【积分已退回】
8个月前

ghpi Lv41 求助人发起了本次求助

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 曹磊完成签到，获得积分10

刚刚; 我是学霸发布了新的文献求助10

1秒前; orixero上传了应助文件

2秒前; 再学一会儿发布了新的文献求助10

2秒前; Ll发布了新的文献求助10

4秒前; HM发布了新的文献求助10

4秒前; SciGPT上传了应助文件

4秒前; zuoshoubo完成签到，获得积分10

5秒前; 开心的太清发布了新的文献求助10

6秒前; 李健的小迷弟上传了应助文件

6秒前; 小雒雒完成签到，获得积分10

7秒前; 铁树发布了新的文献求助10

7秒前; Paopao发布了新的文献求助10

9秒前; 不做第一只做唯一的应助被糟糕的语蝶采纳，获得10

10秒前; hua完成签到，获得积分10

10秒前; hellowwpp完成签到，获得积分10

10秒前; monkey完成签到，获得积分10

11秒前; 科研通AI6.2上传了应助文件

11秒前; CarryLJR上传了应助文件

12秒前; szj发布了新的文献求助10

13秒前; 科研通AI6.2上传了应助文件

13秒前; 珍~完成签到，获得积分10

14秒前; 8WpVE7完成签到，获得积分10

14秒前; 嘟嘟嘟完成签到，获得积分10

14秒前; 哈哈哈的应助被科研通管家采纳，获得10

15秒前; HM完成签到，获得积分10

15秒前; 华仔的应助被科研通管家采纳，获得10

15秒前; 再学一会儿完成签到，获得积分10

15秒前; 酷波er的应助被科研通管家采纳，获得30

15秒前; 爆米花的应助被Ll采纳，获得10

15秒前; 在水一方的应助被科研通管家采纳，获得30

15秒前; 思源上传了应助文件

15秒前; 无极微光的应助被科研通管家采纳，获得20

15秒前; 科研通管家关闭了杪秋的文献求助

16秒前; 科研通管家关闭了felix的文献求助

16秒前; 科研通管家关闭了felix的文献求助

16秒前; 科研通管家关闭了felix的文献求助

16秒前; 英俊的铭的应助被活泼的沧海采纳，获得20

16秒前; NearL完成签到，获得积分10

16秒前; 搜集达人上传了应助文件

17秒前