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标题
Study of β-Ga2O3 films hetero-epitaxially grown on off-angled sapphire substrates by halide vapor phase epitaxy
卤化物气相外延法异质外延生长β-Ga2O3薄膜的研究
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网址
DOI
10.1016/j.matlet.2021.129411 doi
其它 期刊:Materials Letters
作者:Wanli Xu; Jiacheng Shi; Yuewen Li; Xiangqian Xiu; Shan Ding; et al
出版日期:2021-01-25
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