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Study of β-Ga2O3 films hetero-epitaxially grown on off-angled sapphire substrates by halide vapor phase epitaxy 卤化物气相外延法异质外延生长β-Ga2O3薄膜的研究
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期刊:Materials Letters 作者:Wanli Xu; Jiacheng Shi; Yuewen Li; Xiangqian Xiu; Shan Ding; et al 出版日期:2021-01-25 |
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