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 Wafer-Scale Fabrication Technologies for Integrated Superconducting Quantum Circuits 集成超导量子电路的晶圆级制造技术
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期刊：IEEE Transactions on Applied Superconductivity 作者：Łukasz D. Kaczmarek; Matthias Schmelz; Katja Peiselt; A. Sh. Sultanov; E. Mutsenik; et al 出版日期：2024-12-13 |
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