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标题
ON CONTROL OF VELOCITY OF GROWTH OF FILMS DURING MAGNETRON SPUTTERING
磁控溅射过程中薄膜生长速度的控制
相关领域
材料科学 外延 溅射沉积 腔磁控管 生长速度 传质 光电子学 溅射 薄膜 复合材料 热力学 纳米技术 图层（电子） 物理 内分泌学 医学
网址
http://dx.doi.org/10.1615/nanoscitechnolintj.2023048213
DOI
10.1615/nanoscitechnolintj.2023048213 doi
其它 期刊：Nanoscience and Technology An International Journal
作者：E. L. Pankratov
出版日期：2023-06-15
求助人
楼下太吵了 在 2025-12-20 20:53:00 发布自中国，悬赏 30 积分
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