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标题
Core–shell structured polystyrene coated silica composite abrasives with homogeneous shells: The effects of polishing pressure and particle size on oxide-CMP
具有均匀壳的核壳结构聚苯乙烯涂层二氧化硅复合研磨剂:抛光压力和粒度对氧化物-化学机械抛光的影响
相关领域
抛光 材料科学 化学机械平面化 扫描电子显微镜 复合材料 复合数 聚苯乙烯 表面粗糙度 粒径 无定形固体 粒子(生态学) 透射电子显微镜 胶体二氧化硅 涂层 化学工程 纳米技术 结晶学 化学 聚合物 工程类 地质学 海洋学
网址
DOI
10.1016/j.precisioneng.2015.06.011 doi
其它 期刊:Precision Engineering
作者:Yang Chen; Zhina Li; Qian Cheng
出版日期:2015-07-06
求助人
麦克阿宇 在 2025-07-18 20:08:26 发布自山东,悬赏 10 积分
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