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 Core–shell structured polystyrene coated silica composite abrasives with homogeneous shells: The effects of polishing pressure and particle size on oxide-CMP 具有均匀壳的核壳结构聚苯乙烯涂层二氧化硅复合研磨剂：抛光压力和粒度对氧化物-化学机械抛光的影响
相关领域
抛光
材料科学
化学机械平面化
扫描电子显微镜
复合材料
复合数
聚苯乙烯
表面粗糙度
粒径
无定形固体
粒子（生态学）
透射电子显微镜
胶体二氧化硅
涂层
化学工程
纳米技术
结晶学
化学
聚合物
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期刊：Precision Engineering 作者：Yang Chen; Zhina Li; Qian Cheng 出版日期：2015-07-06 |
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