Physical Vapour Deposition of Zr-Based Nano Films on Various Substrates: A Review

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标题	Physical Vapour Deposition of Zr-Based Nano Films on Various Substrates: A Review 各种衬底上Zr基纳米薄膜的物理气相沉积研究进展相关领域材料科学物理气相沉积薄膜脉冲激光沉积纳米尺度离子镀溅射沉积（地质）纳米技术结晶度阴极电弧沉积碳膜溅射沉积复合材料阴极保护阳极化学物理化学古生物学生物电极沉积物
网址	https://doi.org/10.2174/1573413717666210809105952
DOI	10.2174/1573413717666210809105952 doi
其它	期刊：Current Nanoscience 作者：Ahmad Hafiz Jafarul Tarek; Chin Wei Lai; Bushroa Abd Razak; Yew Hoong Wong 出版日期：2021-08-09
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