Physics-Based Compact Modeling of an Ultrasonic Modulation MEMS Speaker Concept

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标题	Physics-Based Compact Modeling of an Ultrasonic Modulation MEMS Speaker Concept 相关领域超声波传感器微电子机械系统调制（音乐）计算机科学声学物理电子工程工程类光电子学
网址	https://doi.org/10.1109/eurosime65125.2025.11006558
DOI	10.1109/eurosime65125.2025.11006558 doi
其它	期刊：作者：Christian Görner Tenorio; Andreas Bogner; Christian Bretthauer; H. Heiß; Gabriele Schrag 出版日期：2025-04-06
求助人	ZZJ 在 2025-10-30 15:10:50 发布自美国，悬赏 10 积分
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