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标题
Zinc‐Imidazolate Films as an All‐Dry Resist Technology
咪唑锌薄膜作为全干抗蚀剂技术
相关领域
抵抗 材料科学 电子束光刻 干法蚀刻 电子束处理 蚀刻（微加工） 平版印刷术 原子层沉积 纳米技术 无定形固体 硅 光电子学 化学工程 辐照 图层（电子） 结晶学 化学 物理 核物理学 工程类
网址
https://doi.org/10.1002/adfm.202311149
AI链接 osti.gov osti.govdoi.org
DOI
10.1002/adfm.202311149 doi
其它 期刊：Advanced Functional Materials
作者：Peter Corkery; Kayley E. Waltz; Patrick M. Eckhert; Mueed Ahmad; Andrea Kraetz; et al
出版日期：2023-11-27
求助人
koman 在 2025-10-09 01:12:17 发布自江苏，悬赏 10 积分
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