| 标题 |
Single-crystalline SiC integrated onto Si-based substrates via plasma-activated direct bonding 通过等离子体激活直接键合将单晶SiC集成到Si基衬底上
相关领域
材料科学
直接结合
等离子体活化
空隙(复合材料)
阳极连接
光学透明度
等离子体
复合材料
异质结
碳化硅
腐蚀
硅
化学工程
纳米技术
光电子学
图层(电子)
工程类
物理
量子力学
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 求助人 | |
| 下载 | 该求助完结已超 24 小时,文件已从服务器自动删除,无法下载。 |
|
温馨提示:该文献已被科研通 学术中心 收录,前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库,收集文献的基本信息(如标题、摘要、期刊、作者、被引量等),不提供下载功能。如需下载文献全文,请通过文献求助获取。
|