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  Optimization of Grayscale Lithography for the Fabrication of Flat Diffractive Infrared Lenses on Silicon Wafers 在硅片上制作平面衍射红外透镜的灰度光刻优化
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期刊：Micromachines 作者：Angelos Bouchouri; Muhammad Nadeem Akram; Per Øhlckers; Xuyuan Chen 出版日期：2024-06-30 |
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