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Characteristics of AZO thin films prepared at various Al target input current deposited on PET substrate 不同Al靶输入电流下AZO薄膜沉积在PET衬底上的特性
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期刊:Modern Physics Letters B 作者:Yun‐Hae Kim; Chang-Wook Park; Jin‐Woo Lee; Dong Myung Lee 出版日期:2015-03-20 |
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