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标题
(Invited) Atomic Layer Deposition and Etching of 2D Transition Metal Dichalcogenide Materials
相关领域
原子层沉积 蚀刻（微加工） 纳米技术 材料科学 化学气相沉积 图层（电子） 半导体 各向同性腐蚀 薄膜 剥脱关节 沉积（地质） 光电子学 过渡金属 化学 石墨烯 生物化学 生物 古生物学 催化作用 沉积物
网址
https://doi.org/10.1149/ma2018-02/30/1004
DOI
10.1149/ma2018-02/30/1004 doi
其它 期刊：ECS Meeting Abstracts
作者：Anil U. Mane; Devika Choudhury; Steven Letourneau; Jeffrey W. Elam
出版日期：2018-07-23
求助人
WJ 在 2025-11-07 16:30:15 发布自江苏，悬赏 10 积分
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