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Cycle-ratio-controlled nominal ALD-defined In2O3/Ga2O3 multilayer films for tunable MSM ultraviolet photodetectors
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DOI
10.1016/j.mssp.2026.111007 doi
其它 期刊:Materials Science in Semiconductor Processing
作者:Jianhong Wang; Tao Lin; Yantao Liu; Jiale Dang; Tai Chen
出版日期:2026-07-23
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