High-κ Hf0.3Zr0.7O2 film with morphotropic phase boundary for DRAM capacitor by controlling H2O dose

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标题	[求助补充材料] High-κ Hf0.3Zr0.7O2 film with morphotropic phase boundary for DRAM capacitor by controlling H2O dose
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.apsusc.2023.158078
DOI	10.1016/j.apsusc.2023.158078 doi
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